氣體溫濕度

【設(shè)備特點(diǎn)】

1、精確溫濕度調(diào)控：確保曝光機(jī)、顯影/ 涂布設(shè)備等制程良率

2、定制化風(fēng)量設(shè)計(jì)：根據(jù)客戶的具體需求，定制風(fēng)量，送風(fēng)單元結(jié)構(gòu)均勻布置，確?？諝饬魍ǖ木鶆蛐?，進(jìn)一步提升制程質(zhì)量。

3、超準(zhǔn)溫度控制：溫度控制精度高達(dá)±0.01℃，遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，為產(chǎn)線環(huán)境提供了的穩(wěn)定性，從而確保了產(chǎn)品的優(yōu)良率。

【產(chǎn)品應(yīng)用】

1、溫度控制精度：±0.1℃~±0.01℃

2、濕度控制精度：±2%RH~±1%RH

3、廣泛適用領(lǐng)域：該設(shè)備廣泛應(yīng)用于面板廠、晶圓廠、封裝測(cè)試廠等精密溫濕度控制領(lǐng)域，助力企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量，確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定與高效。

一、恒溫恒濕機(jī)在面板廠的應(yīng)用

在面板制造過程中，對(duì)溫濕度的控制至關(guān)重要。精密恒溫恒濕機(jī)能夠?yàn)槊姘迳a(chǎn)提供穩(wěn)定、精確的環(huán)境。以下是精密恒溫恒濕機(jī)在面板廠的主要應(yīng)用：

1、提高面板產(chǎn)品質(zhì)量：通過精密恒溫恒濕控制，降低面板產(chǎn)品的缺陷率，提高產(chǎn)品合格率。

2、優(yōu)化生產(chǎn)流程：穩(wěn)定的環(huán)境有利于提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。

3、保護(hù)設(shè)備：精密恒溫恒濕機(jī)能夠保護(hù)生產(chǎn)設(shè)備，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。

二、恒溫恒濕機(jī)在晶圓廠的應(yīng)用

晶圓制造對(duì)溫濕度的要求高，精密恒溫恒濕機(jī)在晶圓廠的應(yīng)用主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

1、提高晶圓產(chǎn)品質(zhì)量：穩(wěn)定的環(huán)境有利于降低晶圓缺陷，提高產(chǎn)品質(zhì)量。

2、保障生產(chǎn)安全：精密恒溫恒濕機(jī)能夠防止靜電、氧化等不良現(xiàn)象，確保生產(chǎn)安全。

3、降低能耗：通過優(yōu)化溫濕度控制，降低能耗，提高生產(chǎn)效益。

三、恒溫恒濕機(jī)在封裝測(cè)試廠的應(yīng)用

1、封裝測(cè)試廠對(duì)溫濕度的要求同樣嚴(yán)格，精密恒溫恒濕機(jī)在封裝測(cè)試廠的應(yīng)用包括：

2、提高封裝產(chǎn)品質(zhì)量：穩(wěn)定的環(huán)境有利于降低封裝產(chǎn)品的缺陷率，提高產(chǎn)品合格率。

3、保護(hù)測(cè)試設(shè)備：精密恒溫恒濕機(jī)能夠保護(hù)測(cè)試設(shè)備，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。

4、降低生產(chǎn)成本：優(yōu)化溫濕度控制，降低能耗，提高生產(chǎn)效益。