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恒溫恒濕機(jī)在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過(guò)此設(shè)備處理后的空氣，溫度控制精度可達(dá)目標(biāo)值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對(duì)溫控的要求。

小型高低溫動(dòng)態(tài)控溫系統(tǒng)產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)外科學(xué)研究和工藝開發(fā)、新能源汽車、生物技術(shù)、醫(yī)藥行業(yè)、航空航天、半導(dǎo)體、醫(yī)療技術(shù)等行業(yè)。

高低溫動(dòng)態(tài)控溫系統(tǒng) 應(yīng)用于化工制藥工業(yè)產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)外科學(xué)研究和工藝開發(fā)、新能源汽車、生物技術(shù)、醫(yī)藥行業(yè)、航空航天、半導(dǎo)體、醫(yī)療技術(shù)等行業(yè)。

高低溫循環(huán)器產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)外科學(xué)研究和工藝開發(fā)、新能源汽車、生物技術(shù)、醫(yī)藥行業(yè)、航空航天、半導(dǎo)體、醫(yī)療技術(shù)等行業(yè)。

直冷型低溫冷卻機(jī) 真空涂覆冷阱半導(dǎo)體測(cè)試產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)外科學(xué)研究和工藝開發(fā)、新能源汽車、生物技術(shù)、醫(yī)藥行業(yè)、航空航天、半導(dǎo)體、醫(yī)療技術(shù)等行業(yè)。